儀器參數：

一、粗糙度測量

X 軸 (驅動部)

1.測量范圍: 100mm

2.分辨率: 0.5μm

3.長度基準: 高精度位移傳感器

4.驅動速度: 0 – 10mm/s

5.測量速度: 0.5 - 2mm/s

Z 軸 (立柱)

1.類型: 電動操作

2.垂直移動: 350mm

檢測器

1.范圍／分辨率: 1000μm / 0.01μm

2.測針針尖: 2um

3.示值誤差: ±5%-—±7%

4.測量重復性: ± 3% -—-±5%
5.類型: 差動電感式

6.驅動裝置的控制:手動或 PC 操作

評價參數

1.Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi,

Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi), Sm, HSC, mr, dc, plateau ratio,

mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Da, Dq, la, lq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1, A2

取樣長度

1.0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm

數據補償功能

傾斜補償，R 平面(曲面) 補償，橢圓補償，拋物線補償，

雙曲線補償，二次曲線自動補償，多項式補償，多項

式自動補償

二、輪廓測量

1.測量范圍:≤100mm

2.分辨率: 0.1μm

3.測量速度: 0.2, 0.5、1mm/s

4.測量方向: 向后

5.指示精度: ±(3.5+2L/100)μm

* L = 測量長度 (mm)

6.測針上／下運作: 弧形運動

7.測針方向: 向下

8.測力: 10 - 30mN

9.測針針尖半徑: 25μm, 硬質合金針尖

       上海光學儀器一廠是國內較早成立大型綜合 類光學儀器的生產企業，以顯微鏡、光學儀 器、測量工具顯微鏡、生物顯微鏡、測量投 影儀、影像測量儀、工具顯微鏡、分光光度 計、折射儀等見長，在國內久負盛名。企業 全面改制后，開發了與電腦鏈接等特殊用途 的光學儀器。

       本公司是專業從事顯微鏡的研制和開發，在產品的質量和售后服務上贏得了廣大客戶的 青睞和支持，產品注重模塊化、集成化和系 列化，廣泛應用于軍工、電子、大學、航空 航天、和精密工業檢測、實驗室及測量儀器 行業，并向科研等領域拓展。

榮譽資質